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137-2866-5346通過廠家對石墨舟清洗配方實驗對比對鍍膜均勻性的影響，得出數據顯示適當增加酸洗、水洗時間，利于鍍膜均勻性的改善，顯微鏡觀察，不同的清洗配方對石墨舟表面的微觀形貌會有一定的差異化，主要區別在于肉眼無法觀察的一些細小氮化硅顆粒物的殘留導致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差異在3D顯微鏡狀態下測試的氮化硅殘留區域與非氮化硅殘留區域微觀形貌及粗糙度，數據顯示氮化硅殘留區域，粗糙度整體均值Sa 為3，5um明顯高于正常區域粗糙度Sa為2，8um且氮化硅與石墨舟本身導電性存在較大差異性。進而對鍍膜均勻性存在一定的影響。
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