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石墨制品在半導體、光伏產業(yè)領域的應用

發(fā)布時間:2020-03-16 點擊次數(shù):6982

1應用市場發(fā)展擴大的過程

半導體的發(fā)展與石墨材料在半導體工業(yè)中的應用是分不開的。在半導體工業(yè)中,直拉單晶爐的加熱系統(tǒng)大量采用高純石墨材料。還在半導體硅片加工(包括區(qū)熔、外延、外形加工等)中作為輔助工具、部件;在半導體硅片用多晶硅材料的生產中為輔助工具、部件。電子工程用石墨制品,首先是實現(xiàn)在半導體工業(yè)中得到應用。進入21世紀,光伏產業(yè)得到了迅速的發(fā)展,太陽能電池用多晶硅錠材料在產量與市場上都出現(xiàn)了突飛猛進的增大,這也給石墨制品在光伏產業(yè)領域提供了一個發(fā)展前景廣闊的新市場。太陽能電池硅片所需要的重要原材料鑄錠多晶硅,在其生產裝置鑄錠爐中開始大量的采用高純、優(yōu)質的石墨材料。

1.1石墨制品的半導體應用市場概況

直拉單晶爐內使用的石墨部件是一類易耗件,它由各種高純石墨加工而成。例如其中的石墨坩堝及其他石墨部件采用了高純細顆粒結構石墨;石墨加熱器采用了高純各向同性石墨;石墨保溫罩和石墨蓋板采用高純中顆粒結構的石墨。

1.2石墨制品的太陽電池應用市場概況

在生產鑄錠多晶硅設備上,多個組件是需要石墨材料。特別是鑄錠爐加熱器中使用的加熱材料----高純石墨,以及所用的隔熱材料---高純碳氈隔熱材料,都是目前鑄錠多晶硅設備重要的、必不可少的配套材料。

由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(超過1600℃),它的加熱材料又要求不能與硅料反應、不對硅料造成污染,可長期在真空及惰性氣氛中使用。符合使用條件可供選擇的加熱器有金屬鎢、鉬和非金屬石墨等。由于鎢、鉬價格昂貴,加工困難,而石墨來源廣泛,可加工成各種形狀。另外,石墨具有熱慣性小、可以快速加熱,耐高溫、耐熱沖擊性好,輻射面積大、加熱效率高、且基本性能穩(wěn)定等特點。正因為如此,石墨材料已成為了鑄錠爐加熱器中首選的加熱材料。鑄錠爐加熱器對于隔熱材料有著嚴格的要求。它必須是耐高溫、密度低、導熱小、蓄熱量少、隔熱效果好、放氣量少、重量輕、膨脹系數(shù)小的材料。因此在眾多的耐火保溫材料中以高純碳氈最為理想。

多晶硅熱場加熱器

上述所舉例的兩類在半導體、光伏產業(yè)領域應用的石墨制品,幾年前還是主要是由國外全部進口(或者是由我國內地的外資企業(yè)提供)。但由于我國石墨行業(yè)、半導體材料行業(yè)、電子工業(yè)設備行業(yè)的共同努力,我國自行生產(深圳市石金科技股份有限公司)的這兩類石墨配套無論在制造技術上,還是在應用技術上都取得了巨大的進步,市場的格局也得到了很大的改變。這也給我國石墨行業(yè)在此方面開拓新市場提供了新機遇。但同時也需要看到,在我國大規(guī)格、高純各向同性石墨的市場在迅速增大的同時,我國在此方面的制造技術仍有不適應的方面,技術仍與國外先進國家有很大的差距。石墨制品作為微電子、光伏產業(yè)的重要基礎裝備材料,需要我國國內不斷在技術獲得進步,與半導體行業(yè)、光伏電池用硅材料制造行業(yè)加強合作,進一步投資發(fā)展為其配套的高檔石墨制品,是一件勢在必行的重要工作。


本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發(fā),產品加工的石墨專業(yè)廠家,專門為模具行業(yè)、機械行業(yè)、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業(yè)等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390

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